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半导体工艺与器件仿真教学与实验软件包含业界主流微电子工艺及器件仿真TCAD软件的教程和配套资源。通过工艺仿真得到确定工艺下材料水平的器件结构，然后在工艺仿真得到的器件模型基础上仿真计算电学特性，使学生更加深入地理解半导体工艺和器件原理，熟练掌握Silvaco TCAD软件的使用方法及半导体物理参数、工艺参数及器件模型对于器件电学特性的影响。
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