
概述
SG2350 LCR 阻抗测试平台是⼀款精密型 LCR 表,其基本测量精度可达 0.1%,且支持多种 测试激励模式,拥有 20 Hz 至 2 MHz 连续可调的宽范围测试频率,和 0 至 2 Vrms 或者 0 至 20 mArms 连续可调的测试电平,并且具备可调最大 2 V 的直流偏置功能;使用该平台可测试多种阻抗参数,测量精准的同时,可实现最快 5 ms 的测量速度,其紧凑、模块化的设计为产线元器件,材料,半导体,MEMS 等阻抗参数测试测量提供了高性价比的选择。

应用场景
主要应用于元器件,材料,半导体,MEMS 等阻抗参数测试测量

规格
以下指标基于开路电压模式
| 测量频率 | 量程 | 20 Hz ~ 2 MHz |
| 步进 | 10 Hz |
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| 精度 | ±(100 ppm + 0.01 Hz) |
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| 测量电平 | 量程 | 0 mVrms ~ 2 Vrms |
| 步进 | 5 mVrms |
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| 精度 | ±(10% + 1 mVrms) |
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| 直流偏置电压 | 量程 | 0 ~ 2 V |
| 步进 | 5 mV |
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| 精度 | ±(0.1% + 2 mV) |
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| 输出阻抗 | 100 Ω (典型值) |
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阻抗测量精度
| 量程 | 阻抗测量基本精度(中速,1 KHz 测试频率) | 相位测量基本精度(中速,1 KHz 测试频率) |
| 1 Ω | 2% | 0.010 弧度/ 0.573 度 |
| 10 Ω | 0.3% | 0.004 弧度/ 0.230 度 |
| 100 Ω | 0.1% | 0.002 弧度/ 0.115 度 |
| 800 Ω | 0.1% | 0.002 弧度/ 0.115 度 |
| 3 KΩ | 0.1% | 0.002 弧度/ 0.115 度 |
| 10 KΩ | 0.15% | 0.002 弧度/ 0.115 度 |
| 30 KΩ | 0.15% | 0.002 弧度/ 0.115 度 |
| 100 KΩ | 0.15% | 0.003 弧度/ 0.172 度 |
| 300 KΩ | 0.3% | 0.003 弧度/ 0.172 度 |
| 1 MΩ | 1% | 0.005 弧度/ 0.286 度 |
| 3 MΩ | 1% | 0.010 弧度/ 0.573 度 |
| 10 MΩ | 4% | 0.030 弧度/ 1.719 度 |