Keithley 4200A-SCS 参数分析仪 是泰克(Tektronix)旗下产品。官方标称超低频率:C-V / 技术及 / SMUs / 3. 电容 / 电压单元 / (CVU)。官方技术指标共 33 组、412 项,详见「详细指。
主要性能指标
• 和超快速脉冲式:I-V / 特性。作为性能最高的参数分析仪, / 脉冲式 / 超快速脉冲测量单元 / (PMU)
• 远程前端放大器:/ / 开关模块 / (RPM)
• 型号:说明 / 主要测量 / 范围 / 测量分辨率
• 源测量单元:中等功率源测量单元
• 源测量单元:中等功率源测量单元,- DC I-V / ±100 mA, ±210 V
• 提高了低电流稳定性:超低频率 / C-V / 0.2 mV, 100 fA
• 源测量单元:高功率源测量单元 / ±1 A, ±210 V- QSCV
• 源测量单元:高功率源测量单元
技术规格
• 60 ns 脉宽输出同时测流时 4225-RPM:远程前段放大器 / / / DC / I-V、C-V、脉冲式 / I-V
• 开关模块:间自动切换 / 扩展 / 4225-PMU / 单元的电流范围 / 200 pA
• 接地单元:内置低噪声接地单元 / 三同轴连接 / : 2.6 A接线柱 / : 9.5 A
• 非易失性存储器:Vth, endurance test, capacitance
• 纳米器件:Resistance, Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc
• 分立元器件:Id-Vg, Id-Vd, Ic-Vc, Vfdiode, Vrdiode, capacitance
• 材料:Van der Pauw, 4-point collinear resistivity, Hall Effect
• 光伏器件:Iforward, Ireverse, HiR, LoR
• 功率器件:Pulsed Id-Vg, pulsed Id-Vd, breakdown
• 可靠性:NBTI/PBTI, charge pumping, hot carrier injection, V-Ramp, J-Ramp, TDDB
技术规格
• 第:1 / 步 - 构建测试方案
• 在:C / l / a / r / i / u / s / 库的 / 450 / 多种预先定义的应用测试和项目中搜索、过滤
了解每项测试,获得
• 更详细的信息,包括: " 4$4:ԠѬౢ́
技术规格
• 超低频率:C-V / 技术及 / SMUs / 3. 电容 / 电压单元 / (CVU)
• 量一般采用:AC / 技术完成。通过在被测器件 / (DUT) / 中提供
• 仪器模块可以得到:AC / 阻抗。
• 试频率上执行几:fF / 到几 / μF / 的多频率电容测量,同时提供
• 高达:±30 / V / 或 / 60 / 差分的 / DC / 偏置电压。这两种 / CVU / 之
• 间的差别在于测试频率数量和:A / C / 驱动电压。4215- / V / U / 有
• 使用:SMU / 和前端放大器进行超低频率 / C-V / 测量。
• 执行:C - V / 测量。这种方法采用 / 4200A - S C S / 的 / S M U / 及前端
放大器,而不要求额外的硬件或软件
• 为了适应:I - V / 测量和其他测量类型之间切换,4200A - S C S
• 量和:C - V / 测量之间简便切换。此外,可以在被测器件不
• 同端口间自动切换:C - V / 测量,而不需要抬起探针或改变 / 电容 / 电压扫描。
• 式:I-V / 仪器模块的低电流测量功能。 / 掺杂曲线
• 另外还提供了:4200-CVU PWR / 选项,支持: / 把 / D / C / 偏置移到选择的端子上。在 / Clarius / Software / 中,
• 确保结果的有效性:执行前确保电路确实为开路或短路状态。此外,您可以使
• 用实时:C-V / 仪表调试测试设置和被测器件。
• 与市场上其他:C / V / 模块不同,4210- / U / 和 / 4215- / 设
计了独特的已获专利的电路,支持各种特性和诊断工具,确
• 噪声最低的端子上测量:AC / 信号,提供更实用的测量功能。
松消除潜在错误
• 及到:D / U / T / 连接的完整性。在执行开路或短路测试时,阻抗
指引
• 由于很难在:C / V / 和其他测量类型之间切换,4200A / S / 提
• 量和:C / V / 测量之间轻松切换。此外,可以在 / D / U / T / 不同端
• 口间自动切换:C-V / 测量,而不需抬升探针或改变测试设置。
技术规格
• XXX UFL DPN DO 5. 开关解决方案:此外,在重新连接电缆时,用户会面临电缆重连不正确的风险,
• 将吉时利高速度、高完整性开关解决方案与测试测量结合在:误在很长时间内都可能注意不到。
• 另一种方式是使用能够切换:I - V / 和 / C - V / 信号的远程开关,如
内置显示器在你需要的地方,在靠近被测器件的地方提供清
• 晰的测试信息。 4200A-CVIV:多通道开关。 / 能够旋转文字,用户可以按需放置开关位置
• 切换,大大简化与器件的连接。 4225-RPM:远程前端放大器 / / / 开关模块。
• 切换,大大简化与器件的连接。 4200A-CVIV:多通道开关连接示意图。
• 切换,大大简化与器件的连接。 4225-:R / P / M / 还作为前端放大器使用,扩大了 / U / 上较低件还消除了由于连线错误或选用错误的电缆导致的测量错误,
• 切换,大大简化与器件的连接。 4225-RPM:远程前端放大器 / / / 开关进行的二极管脉冲式 / 4200A-SCS / 有多种可选的开关矩阵配置。
• 之前的主机设计。 708B:和 / 707B / 开关矩阵主机。
• 它们是专为半导体实验室和生产测试环境设计的,采用标准 4225-RPM:为脉冲应用提供了更低的电流范围。 / 三同轴连接器和电缆,提供了超低电流开关性能。
• 在使用:4225-RPM / 远程前端放大器 / / / 开关模块的连接图。
• 在开发大规模的硅:C / M / O / S / 晶体管时,建立正 / / / 负偏压温度不 / I / V / 模块、两个 / 4225- / R / P / 远程前端放大器 / 开关、自动化
• 稳定性:( / N / B / T / I / / / P / ) / 模型是一个挑战。随着时间推移,N / 表征套件 / A / C / S / 软件、超快速 / 测试项目模块和线缆。测
• 效应导致晶体管的阈值电压:( / V / T ) / 发生漂移,亚阈值漏极电流 / 试软件模块可以简便地定义压力定时、压力条件和各种测量
• 描和采样测量等类型。每种类型的定时由测试采样率和各个 4200-BTI-A:超快速 / BTI / 套件是业内最先进的 / NBTI/PBTI / 测 / 测量设置确定。软件模块还可以控制测试序列中每个单元之
• 行完善的:N / B / T / I / 和 / P / 测量,包括一个 / 4225- / M / U / 超快速 / 大的灵活性和易用性。
• 综合:测量相同
• 第一个压力:第二个压力 / 第三个压力 / 最小 / 10 / 点
• 扫描 单点测试:扫描 单点测试 / 三角形 / 单点测试
• 初始:/ / 最终测量 / 初始 / 最终测量中间 / 中间
• 单点测试:平滑扫描 / 三角形 / 步进扫描
• 超快速:BTI / 套件支持单点测试、平滑扫描、三角形和步进扫描测量类型。
技术指标
• 除另行标注外,所有技术指标均为保障值。除另行标注外,所有技术指标均适用于所有型号。 1:源测量单元
• 电流:, 最大值 / 100 mA / 1 A
• 电压:, 最大值 / 210 V / 210 V扩展所有 / SMU / 的低电流测量范围
• 功率:2.1 W / 21 W
• 四象限源:/ / 阱操作
• 每个:SMU / 上都有一个模数转换器
全面远程传感功能
• 线性、对数、列表和分段测量扫描 4200A-SCS:主机可以支持最多 / 9 / 个中等功率或高功率 / SMU / 模块
• 输出接口:每个 / SMU / 上三个迷你三同轴 / ( / 母头 / ) / 接口,用于 / Force、Sense / 和 / Sense Lo
• 一个定制:15 / 针 / D-Sub ( / 母头 / ) / 接口,用于连接 / 4200-PA
• 选配附件:4200-PA / 远程前端放大器模块
• 同 等 仪 器:可以在现场安装的 / SMU(4200-SMU-R、4201-SMU-R、4210-SMU-R / 和 / 4211-SMU-R)
• 拥有的技术指标与不能在现场安装的:SMU / 相同
• 源测量单元:电流测量 / 4
• 测量:源
• 电流量程:1 / 最大电压 / 分辨率 / 3 / 精度±(% / 读数 + 安培 / )
• 源测量单元:100 mA / 21 V / 100 nA / 0.045% + 3mA / 5mA / 0.050% + 15 μA
• 前端放大器:1 nA / 210 V / 1 fA / 0.050% + 100 fA / 50 fA / 0.060% + 300 fA
• 1. 所有量程扩展到满量程的:105%。
• 2. 这些量程的技术指标在有或没有:4200-PA / 时均适用。
• 源测量单元:电压测量 / 3
• 电压范围:1 / 最大电流 / 测量 / 源
• 源测量单元:和 / 4210-SMU / 精度
• 源测量单元:4211-SMU / 分辨率 / 2 / ±(% / 读数 + 伏特 / )
• 1. 所有量程扩展到满量程的:105%。
• 2. 这些技术指标在有或没有:4200-PA / 时均适用。
• 源测量单元:最大电容测量
• 电流范围:Force HI / 和 / Force LO / 端 / Guard / 端子
• 子之间的最大负载电容:子之间的最大保护电容 / 之间的最大屏蔽电容
• 源测量单元:1 A / 100 mF
• 源测量单元:或 / 4211-SMU / 100 mA / 100 mF
• 源测量单元:或 / 4211-SMU, / 1 nA ~ 10 nA / 10 mF
• 带:4200-PA / 前端放大器 / 1 pA ~ 100 pA / 1 mF
• 高阻抗电压表模式的设置为:0 A / 电流源输出。
精度和分辨率
• 电压范围:测量分辨率 / ±(% / 读数 + 伏特 / )
• 输入阻抗:>1013W
• 输入泄漏电流:<30 pA
• 测量噪声:0.02% / 测量量程 / (rms)。
• 差分电压监测:使用 / VMU / 模式的两个 / SMUs,或使用每个 / SMU / 提供的低传感端子。
• 源测量单元:补充信息
• 限制值精度:限压值精度与电压源技术指标一致
• 过冲:<0.1% / 典型值
• 电压:满刻度步进 / , 阻性负载和 / 10mA / 范围
• 电流:1 mA / 步进 / , RL = 10 kW, 20 V / 范围
• 电压量程:<200 mV
• 电流量程:<200 mV
温度和湿度对精度的影响
• 温度:5-60 / 60-80
• 最大负载电容:10 nF
• 最大:Guard / 偏置电压 / FORCE / 与 / Gurad / 不超过 3 mV
• 源测量单元:和 / 4210-SMU / 输入阻抗 / (Force / 到 / Common)
• 最大屏蔽电容:3300 pF
• 源测量单元:和 / 4210-SMU / 输入阻抗 / (Force / 到 / Common)
• >1012 W (100 nA-1 mA范围) 4200-PA:输入阻抗 / (Force / 到 / Common)
• >1012 W (100 nA-1 mA范围) >1016 W (1 pA:和 / 10 pA / 范围 / ), >1013 W (100 pA-100 nA / )
• 噪声特性:( / 典型值 / )
• 电压源 (rms):0.01% / 的输出量程
• 电流源 (rms):0.1% / 的输出量程
• 电压测量:(p-p) / 0.02% / 的测量量程
• 电流测量 (p-p):0.2% / 的测量量程
• 最大上升速率:0.2 V/ms
• 源测量单元:前端放大器模块
• 通过增加选配的:4200-PA / 前端放大器,可以扩展任何 / SMU / 的低电流测量功能。通过在任一 / 型号中有效增加五个电流范围,
• 前端放大器提供了:10 aA / 分辨率。前端放大器模块与系统无缝集成;对用户来说,SMU / 看上去只是提供了额外的低电流测试量程。
• 本地:前端放大器预装在 / 4200A-SCS / 后面板上,用于本地操作。
• 远程:用户可以从背面拆下前端放大器,放在远程位置 / ( / 如在不透光的夹具盒或在探针台内 / ),
• 输入接口:一个定制接口,15 / 针,D-Sub ( / 公头 / )
• 输出接口:两个三同轴接口 / ( / 母头 / )
• 外观尺寸:0.79 / 英寸宽 x 4.4 / 英寸深 x 2.2 / 英寸高 / (2 cm / 宽 x 11.3 cm / 深 x 5.6 cm / 高 / )
• 重量:4.8 / 盎司 / (136 / 克 / )
• 使用:4200-PA / 前端放大器进行 / SMU / 电流测量 / 4
• 测量:源
• 电流量程:1 / 最大电压 / 分辨率 / 3 / 精度
• 源测量单元:100 mA / 21 V / 100 nA / 0.045% + 3mA / 5mA / 0.050% + 15mA
• 和:4211- / 中等功率 / 1 mA / 210 V / 1 nA / 0.035% + 30 nA / 50 nA / 0.040% + 150 nA
• 中等功率 SMU:1mA / 210 V / 1 pA / 0.050% + 100 pA / 50 pA / 0.060% + 200 pA
• 中等功率 100 nA:210 V / 100 fA / 0.050% + 30 pA / 5 pA / 0.060% + 30 pA
• 中等功率 10 nA:210 V / 10 fA / 0.050% + 1 pA / 500 fA / 0.060% + 3 pA
• 中等功率 42XX-SMU:及选配 / 1 nA / 210 V / 1 fA / 0.050% + 100 fA / 50 fA / 0.060% + 300 fA
• 中等功率 4200-PA:前端放大器 / 100 pA / 210 V / 300 aA / 0.100% + 30 fA / 15 fA / 0.100% + 80 fA
• 中等功率 10 pA:210 V / 100 aA / 0.500% + 15 fA / 5 fA / 0.500% + 50 fA
• 中等功率 1 pA:210 V / 10 aA / 1.000% + 10 fA / 1.5 fA / 1.000% + 40 fA
• 中等功率 1. 所有量程扩展到满量程的:105%。
• 中等功率 2. 这些技术指标在有或没有:4200-PA / 时均适用。
• 4. 测量精度和源精度是在下述条件下使用标配电缆时给出的。 3:多频率电容 / 电压单元
• 输出接口:四个 / SMA / 接口 / ( / 母头 / )
• 标配电缆:100W, SMA ( / 公头 / ) / 到 / SMA ( / ), 1.5 m, 4 / 根
• 选配电缆:100W, SMA ( / 公头 / ) / 到 / SMA ( / ), 3 m
• 测量参数:CP-G, CP-D, CS-RS, CS-D, R-jX, Z-theta
• 量程:自动和固定
• 测试速度:Fast, Normal, Quiet, 和自定义
• 频率范围:1 kHz ~ 10 MHz
• 最小分辨率:1 kHz, 100 kHz, 1 MHz, 视频率量程而定 / 对整个范围为 / 1 kHz
• 源频率精度:±0.1%
• 信号输出电平范围:10 mV rms ~ 100 mV rms / 10 mV rms ~ 1 V rms
• 分辨率:1 mV rms
• 精度:±(10.0% + 1 mV rms) / 无负载时 / ( / 在后面板 / )
• 输出阻抗:100W, / 典型值
• 最大:DC / 电流 / 10 mA
• 提供的扫描参数:DC / 偏置电压 / , 频率 / , AC 电压
• 扫描类型:线性 / , 自定义
• 扫描方向:向上扫描 / , 向下扫描
• 测量点数:4096
• 测量精度:4, 5
• 测得电容:1 kHz / 10 kHz / 100 kHz / 1 MHz / 10 MHz
• 测得电容:1 kHz / 10 kHz / 100 kHz / 1 MHz / 10 MHz
1. 电容和电导测量精度是在下述条件下指定的:DX < 0.1
• 2. 这些指标是典型值,非保证值,适用于 23℃,仅供参考。 3. 积分时间:10:kHz 以下时为 1 / s 或 10 / s。测试信号电平 : / 30 / mV / rms。
• 2. 这些指标是典型值,非保证值,适用于 23℃,仅供参考。 4. 上述指标也适用于:4215-CVU / 在 / 300 mV / 时的情况。
• 2. 这些指标是典型值,非保证值,适用于 23℃,仅供参考。 4. CV-IV:多通道开关模块
• 低电流测量精度。 4200A-CVIV:基本信息
• 输入接口:4200-PA / 前端放大器:自定义 / , 15 / 针 / , D-Sub ( / 公头 / )
• CVU:四个:SMA / 接口 / ( / 母头 / )
• 输出接口:8 / 个三同轴接口 / ( / 母头 / )
• 外观尺寸:19.8 cm / 宽 x 14.2 cm / 高 x 11.1 cm / 深
• 重量:1.5 / 公斤 / (3.3 / 磅 / )
• 供电:通过 / USB / 电缆连接至 / 4200A-SCS / 主机
• 输出通道:可以配置最多 / 4 / 条通道
• 最大电压:210 V
• 最大电流:1 A
• 官方型号:4200A-SCS-PKA 高分辨率 IV 套件、4200A-SCS-PKB 高分辨率 IV 和 CV 套件、4200A-SCS-PKC 高功率 IV 和 CV 套件、4200-BTI-A 超快 NBTI/PBTI 套件、4200A、4210-CVU、4215-CVU