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VT321半导体参数测试仪，支持SMU、LCR、PGU、PMU等PXIe标准模块，满足复杂测试需求。配备15.6英寸高清屏，预装Windows 10及VTNext软件，提供I-V、C-V、脉冲I-V测试功能，内置MOSFET、BJT、二极管、电阻及电容等丰富的器件类型库，为现代半导体、材料和工艺表征提供高级测试定义、参数分析、图表绘制和自动化功能。
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VT321半导体参数测试仪，支持SMU、LCR、PGU、PMU等PXIe标准模块，满足复杂测试需求。配备15.6英寸高清屏，预装Windows 10及VTNext软件，提供I-V、C-V、脉冲I-V测试功能，内置MOSFET、BJT、二极管、电阻及电容等丰富的器件类型库，为现代半导体、材料和工艺表征提供高级测试定义、参数分析、图表绘制和自动化功能。
FS-Pro 半导体参数测试系统|概伦电子 (在产)
产品描述
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口碑
系统与解决方案
±200V
直流电压范围
±1A / ±3A
直流/脉冲电流
0.1fA
电流分辨率
30fA
电流精度
50μs
最小脉冲宽度
100kHz
噪声测试带宽
产品简介
FS-Pro 半导体参数测试系统是一款功能全面、配置灵活的半导体器件电学特性分析设备。在一个系统中实现了电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、脉冲式IV测试、任意线性波形发生与测量、高速波形发生与采集以及低频噪声测试能力，几乎所有半导体器件的低频特性表征都可以在 FS-Pro 测试系统中完成。
全面而强大的参数测试分析能力极大地加速了半导体器件与工艺的研发和评估进程，并可与概伦 9812 系列噪声测试系统无缝集成。采用工业通用的 PXI 模块化硬件架构，系统配置灵活，扩展性强。内置专业测试软件 LabExpress 提供丰富的测试预设和强大的数据处理功能，同时支持自动化量测和并行量测。
广泛应用于各种半导体器件、LED 材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试、器件可靠性等研究领域，已有国内外百余家客户采用。
产品亮点
一体化设备
单机可采集高精度 IV、CV、脉冲 IV、高速波形和瞬态 IV 采样及 1/f 噪声
功能强大
宽电压电流输出范围、高精度，支持高速采样时域信号采集和任意线性波形生成
广受认可
被众多科研院所、芯片设计公司和代工厂、IDM 公司采用，国内外百余家客户
模块化架构
支持灵活、可扩展的测试配置，PXI 工业通用标准，多通道并行测试
简单易用
内置 LabExpress 测量控制分析软件，无需复杂编程即可完成测量设置、执行和分析
源表集成
可用作 981X 系列内部 SMU 模块，无缝集成到 981X 系列噪声测试系统
产品应用
工艺制程研发与器件参数测试
半导体器件可靠性测试
半导体器件超短脉冲测试
非易失性存储器测试
光电器件和 MEMS 测试
二维材料器件测试
金属材料测试
新型先进材料与器件测试
硬件规格
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 直流 IV（DC IV） | |
| 偏置范围 | ±200V / 1A，四象限运行 |
| 最小电流精度 | 30fA |
| 电流分辨率 | 0.1fA |
| 电压精度 | 30μV |
| 最大输出功率 | 20W |
| 电容测试（CV） | |
| 内置 CV | DC 偏置 ±200V，最大带宽 10kHz，量程 20fF~1mF |
| 外置 LCR 模块 | DC 偏置 ±40V，带宽 20Hz~10MHz，量程 10fF~10mF |
| 脉冲 IV（Pulse IV） | |
| 偏置范围 | ±200V / 3A，最大输出功率 480W |
| 最小电流测量精度 | 5pA |
| 电压测量精度 | 30μV |
| 最小脉冲宽度 | 50μs |
| 瞬态 IV 采样（Transient IV） | |
| 任意波形输出 | 支持 |
| 最大采样率 | 1.8MS/s |
| 最小采样时间 | <1μs（555ns） |
| 存储点数 | ≥100,000 点 |
| 1/f 噪声测试 | |
| 标准带宽 | 100kHz（支持 RTN） |
| 超低频带宽 | 最高 40Hz |
| 最小频率分辨率 | 0.001Hz（超低频）/ 0.1Hz（高精度） |
| 噪声本底 | 2×10⁻²⁸ A²/Hz |
| 测试速度 | <10s/bias |
| DUT 最小阻抗 | 500Ω |
| 高精度快速波形发生与测量套件 | |
| 通道数 | 2 通道，SMA 接口 |
| 快速 IV 测试 | ±10V 电压，最大 10mA 电流 |
| SMU 直通 | ±25V 电压输入，最大 100mA 电流 |
| 采样率 | 100MSa/s |
| 最小推荐脉冲宽度 | 130ns |
LabExpress 测量软件
完整支持直流 IV、脉冲、瞬态、电容、噪声测试、任意波形发生与测量功能
支持长程 Stress 测试，和 HCI、BTI、TDDB、GOI（V-Ramp、J-Ramp）可靠性测试
内置常见器件测试预设（MOSFET、BJT、二极管、电阻器、电容器），帮助新手快速完成测试
强大自定义设定功能，可灵活编辑电信号
内置数据处理能力，支持曲线转换、绘图、线性拟合等器件特性分析
支持多种数据保存/导出格式，可直接导入 BSIMProPlus 和 MeQLab 建模软件
专业版支持控制探针台和矩阵开关设备，支持晶圆映射和并行测试自动化
可测器件与材料
| 类别 | 具体器件/材料 |
|---|---|
| 半导体器件 | MOSFET、BJT、二极管、IGBT、铁电存储器(FeRAM)、阻变存储器(RRAM) |
| 光电器件 | 光电探测器、光敏突触晶体管、LED 材料 |
| MEMS | 微电子机械系统传感器 |
| 半导体材料 | 晶圆、半导体薄膜 |
| 二维材料 | 石墨烯、过渡金属硫化物(TMDs) |
| 新型先进材料 | 钙钛矿量子点、有机半导体 |
| 金属材料 | 电导率、接触电阻特性测试 |
下载与文档
论文FS-Pro 论文集 — 第一版
论文FS-Pro 论文集 — 第二版
白皮书The Challenge and Solution in The Measurement of Flicker (1/f) Noise and Random Telegraph Noise
AppNoteFeRAM Test with Fast IV Measurement Feature
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