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高精度数字源表，四象限输出
高速量测，采样率100kS/s
电压范围：±200V 电压灵敏度：100nV
电流范围：±1A(直流)，±3A(脉冲)
电流灵敏度：1fA
多通信接口，支持USB2.0、LAN、RS232
前置USB，支持数据存储
5英寸高分辨率触摸屏
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VT321半导体参数测试仪，支持SMU、LCR、PGU、PMU等PXIe标准模块，满足复杂测试需求。配备15.6英寸高清屏，预装Windows 10及VTNext软件，提供I-V、C-V、脉冲I-V测试功能，内置MOSFET、BJT、二极管、电阻及电容等丰富的器件类型库，为现代半导体、材料和工艺表征提供高级测试定义、参数分析、图表绘制和自动化功能。
VT320 单/双通道高精度数字源表|微泰电子 (在产)
产品描述
详细指标
软件和手册|白皮书
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口碑
系统与解决方案
±200V
电压范围
±1A / ±3A
直流/脉冲电流
1fA
电流灵敏度
100nV
电压灵敏度
100kS/s
最高采样率
50μs
最小脉冲宽度
产品简介
VT320 高精度数字源表，单/双通道可选，集成精密电压源、电流源、电压表、电流表、电子负载、欧姆表和功率计等多项功能，满足多样化测试需求。配备 5 英寸高分辨率触摸屏，支持图形和数字双视图模式，通过菜单图标可快速完成参数设置，操作便捷。
1fA 高分辨率电流灵敏度与 100nV 电压灵敏度，助力半导体器件、无源器件及传感器测试。关键性能（采样速率、电压量程覆盖、整体精度）显著优于国际主流竞品，自 2025 年推向市场以来已获客户广泛认可。
产品特性
四象限源/测量
集成四象限源/测量功能，支持 ±200V、±1A(直流)、±3A(脉冲)，满足不同测试场景
高分辨率量测
电流最小分辨率 1fA，电压最小分辨率 100nV，实现精准电压/电流输出与电参数测量
高精度指标
直流电压最高精度 0.02%，直流电流最高精度 0.03%，最佳精度 0.017%、7.5 位
高速量测与扫描
最高支持 100kS/s 采样率，NPLC 可设置，同时支持单/双通道扫描
脉冲输出
支持脉冲输出模式，最小脉宽 50μs，适配动态特性测试
柔性负载
软件实现对不同负载的响应优化，最短上升时间内理想响应，无过冲或振荡
触摸屏操作
5 英寸高分辨率电容触摸屏，配备功能键与旋转按钮，图形/数字双视图
丰富接口
7 个数字 IO 触发信号同步捕捉，USB2.0、LAN、RS232、GPIB(选配)，远程/本地灵活切换
前置 USB
支持数据存储与在线升级，支持 I/V、I/t、V/t 特性等在线测量功能
技术参数
| 参数项 | 规格 |
|---|---|
| 通道配置 | 单通道 / 双通道可选 |
| 直流电压范围 | ±200V，最高精度 0.02% |
| 直流电流范围 | ±1A，最高精度 0.03% |
| 脉冲电流 | ±3A，最小脉宽 50μs |
| 电压灵敏度/分辨率 | 100nV |
| 电流灵敏度/分辨率 | 1fA |
| 最佳精度 | 0.017%，7.5 位 |
| 采样率 | 最高 100kS/s，NPLC 可设置 |
| 输出模式 | 四象限源/测量，脉冲输出 |
| 显示 | 5 英寸高分辨率电容触摸屏 + 功能键 + 旋转按钮 |
| 数字 IO | 7 个触发信号，同步触发捕捉数字信号 |
| 通信接口 | USB2.0、LAN、RS232、GPIB（选配），前置 USB |
| 指令集 | 标准 SCPI 指令 |
应用场景
| 领域 | 典型应用 |
|---|---|
| 半导体器件测试 | IV 特性、漏电流、器件参数表征 |
| 无源器件测试 | 电阻、电容、电感等元件测试 |
| 传感器测试 | 传感器特性与标定测试 |
| 电池测试 | 电池特性测试 |
| 材料测试 | 材料低阻等精细测试 |
| 科研/生产 | 研发验证、产线测试，工业级耐受设计适配复杂工况 |
同系列型号
| 型号 | 通道 | 电流分辨率 | 采样率 | 特点 |
|---|---|---|---|---|
| VT320 | 单/双通道 | 1fA | 100kS/s | 脉冲输出 ±3A，四象限，5 寸触摸屏 |
| VT323 | 单通道 | 10fA | 1kS/s | 四象限，±200V/±1A，精度 0.02%/0.05% |
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公司电话：027-87870872
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