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Chroma 7980 2D/3D 晶圆量测系统采用新开发的BLiS技术和专门设计的高精密平台，提供准确可靠的2D/3D次奈米级量测及轮廓资讯。
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7980 6至12吋晶圆2D/3D晶圆量测系统 次奈米级2D/3D量测|致茂电子Chroma (在产)
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致茂 Chroma
7980 2D/3D晶圆量测系统
6至12吋晶圆 · 次奈米级2D/3D量测
产品简介
Chroma 7980 2D/3D 晶圆量测系统采用新开发的BLiS技术和专门设计的高精密平台，提供准确可靠的2D/3D次奈米级量测及轮廓资讯。目前针对半导体制程不同的应用如关键尺寸量测(CD)、深度或高度、覆盖偏差(Overlay)、粗糙度(Roughness)等，提供专门软件；系统拥有大面积拼接能力、快速定位及对焦、量测品质监控，并提供量测结果的2D/3D图形显示，让用户快速的进行分析使用。
产品功能与优势
主要特点
• 专利开发BLiS技术，提供非破坏性的光学尺寸量测
• 提供快速定位与对焦以达更高效率量测(WPH)
• 针对大面积被测物提供巨量接图功能
• 系统自我品质监控，确保量测数值之准确与可靠
• 适用于6"至12"晶圆，提供半自动与全自动机型
• 通过SEMI S2认证
• 先进封装：TSV, VIA, RDL
• 2D/3D关键尺寸(CD)量测：Overlay, Film Thickness, Bump Height, Step Height
• 奈米级3D表面轮廓及粗糙度
主要型号与技术规格
该系列共收录 1 个具体型号，以下为前 1 个（完整规格见详细指标页）。
• 7980 叙述 2D/3D晶圆量测系统
资源下载
• 7980 详细指标见 7980 详细指标页。
• 官方 PDF（型录）：7980-EN.pdf
注：以上内容与指标均取自致茂电子（Chroma）官网该产品详情页与官方产品资料，未标注口径的为厂家公布值。
致茂电子（Chroma ATE Inc.） · onetest 仪器资源库
致茂 Chroma
7980 详细指标
6至12吋晶圆 · 次奈米级2D/3D量测
详细指标
以下规格取自致茂 Chroma 官网该产品详情页型号表，共 1 个具体型号。
7980
• 叙述：2D/3D晶圆量测系统
资源下载
• 7980 产品介绍见 7980 产品介绍页。
• 官方 PDF（型录）：7980-EN.pdf
注：以上内容与指标均取自致茂电子（Chroma）官网该产品详情页与官方产品资料，未标注口径的为厂家公布值。
致茂电子（Chroma ATE Inc.） · onetest 仪器资源库
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邮箱：info@chromaate.com
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