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    ECA 静电吸盘电源|松田精密 (在产)

    The ECA series is a high-voltage power supply engineered specifically for electrostatic chuck (E-Chuck) applications. It enables wafer holding and releasing via DC output control, with smooth release achieved through polarity reve。

    参考价格 ：

    厂家：松田精密|Matsusada Precision Inc. （收录160个产品）

    产地：日本

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    产品描述
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    Matsusada Precision Inc. · 直流电源

    ECA 静电吸盘电源

    Voltage；Current；Channel · 0 to ±1 kV；6 mA；2 ch；1 A · 30 mA；2 ch；3 A
    Voltage；Current；Channel
    0 to ±1 kV；6 mA；2 ch；1 A
    ECA-1B6 x 2
    30 mA；2 ch；3 A
    ECA-1B30 x 2
    0 to ±3 kV；2 mA；2 ch；1 A
    ECA-3B2 x 2
    10 mA；2 ch；3 A
    ECA-3B10 x 2
    0 to ±5 kV；1 mA；2 ch；1 A
    ECA-5B1 x 2
    产品定位

    The ECA series is a high-voltage power supply engineered specifically for electrostatic chuck (E-Chuck) applications. It enables wafer holding and releasing via DC output control,

    with smooth release achieved through polarity reversal. The series supports both unipolar (2-channel) and bipolar systems,

    making it a versatile choice for various processes. Its wide output range of ±1 kV to ±10 kV ensures compatibility with both Johnsen-Rahbek and Coulomb type chucks.

    核心参数
    · ：Model ｜Output ｜Input Current (at AC115 V) max
    ·
    – Voltage
    – Current
    – Channel
    · ECA-1B6 x 2：0 to ±1 kV；6 mA；2 ch；1 A
    · ECA-1B30 x 2：30 mA；2 ch；3 A
    · ECA-3B2 x 2：0 to ±3 kV；2 mA；2 ch；1 A
    · ECA-3B10 x 2：10 mA；2 ch；3 A
    · ECA-5B1 x 2：0 to ±5 kV；1 mA；2 ch；1 A
    · ECA-5B6 x 2：6 mA；2 ch；3 A
    · ECA-10B1 x 2：0 to ±10 kV；1 mA；2 ch；1 A
    · ECA-10B0.5：0.5 mA；1 ch；1 A
    功能与特点
    · Specially designed for Electrostatic Chuck (E-Chuck, ESC) application
    · Dual output channels
    · Bipolar output
    · Built-in RF filter is available. (option)
    · Fast response (100 ms) with amplifier structure
    · Long life and high reliability due to relay-free polarity switching
    典型应用
    · 实验室供电
    资源下载
    · 本页仅列出核心参数，完整技术指标请见 ECA-specs.html
    Matsusada Precision Inc. · onetest 仪器资源库
    本文由 onetest 仪器资源库依据厂商公开资料整理，参数以厂商正式资料为准。

     

     

    Matsusada Precision Inc. · 直流电源

    ECA 静电吸盘电源 · 详细指标

    Voltage；Current；Channel · 0 to ±1 kV；6 mA；2 ch；1 A · 30 mA；2 ch；3 A
    产品简介

    The ECA series is a high-voltage power supply engineered specifically for electrostatic chuck (E-Chuck) applications. It enables wafer holding and releasing via DC output control,

    with smooth release achieved through polarity reversal. The series supports both unipolar (2-channel) and bipolar systems,

    完整技术指标
    · ：Model ｜Output ｜Input Current (at AC115 V) max
    ·
    – Voltage
    – Current
    – Channel
    · ECA-1B6 x 2：0 to ±1 kV；6 mA；2 ch；1 A
    · ECA-1B30 x 2：30 mA；2 ch；3 A
    · ECA-3B2 x 2：0 to ±3 kV；2 mA；2 ch；1 A
    · ECA-3B10 x 2：10 mA；2 ch；3 A
    · ECA-5B1 x 2：0 to ±5 kV；1 mA；2 ch；1 A
    · ECA-5B6 x 2：6 mA；2 ch；3 A
    · ECA-10B1 x 2：0 to ±10 kV；1 mA；2 ch；1 A
    · ECA-10B0.5：0.5 mA；1 ch；1 A
    · ECA-10B3：3 mA；1 ch；3 A
    ·
    – Standard 115 V input * ｜CABLE TYPE1 ｜125 V / 10 A ｜2.5 meters Fixed length
    · Standard [10 kV models]
    – CN-BNC-HVPP (5) *：CN-15-MHVP (5) *
    – MHV connector on both end：Flying lead
    – 5 meters：5 meters
    以上指标摘自厂商官方网站产品页/公开技术资料；厂商未标注测试条件与典型值口径的条目均按原文收录，实际以厂商正式规格书为准。
    资源下载
    Matsusada Precision Inc. · onetest 仪器资源库
    本文由 onetest 仪器资源库依据厂商公开资料整理，参数以厂商正式资料为准。

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    松田精密官方渠道


    厂家联系方式

    公司：Matsusada Precision Inc.（松田精密株式会社）

    国际/日本：TEL +81-6-6150-5088　FAX +81-6-6150-5089

    美国（北卡罗来纳）：TEL (704) 496-2644　FAX (704) 496-2643


     

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