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    EJC 静电吸盘电源|松田精密 (在产)

    The EJC series is a benchtop high-voltage power supply engineered specifically for electrostatic chuck (E-Chuck/ESC) applications. Its bipolar output capability allows for smooth wafer release by reversing polarity, eliminating th。

    参考价格 ：

    厂家：松田精密|Matsusada Precision Inc. （收录2330个产品）

    产地：日本

    点击访问厂家官网

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    Matsusada Precision Inc. · 直流电源

    EJC 静电吸盘电源

    30 mA · 15 mA · 10 mA · 7.5 mA · 6 mA
    30 mA
    EJC-1B30
    15 mA
    EJC-2B15
    10 mA
    EJC-3B10
    7.5 mA
    EJC-4B7.5
    6 mA
    EJC-5B6
    产品定位

    The EJC series is a benchtop high-voltage power supply engineered specifically for electrostatic chuck (E-Chuck/ESC) applications. Its bipolar output capability allows for smooth wafer release by reversing polarity,

    eliminating the need for mechanical relays. With a wide voltage range of ±1 kV to ±5 kV,

    the series supports both Coulomb and Johnsen-Rahbek force applications.

    核心参数
    · ：Model ｜Output
    · ：Voltage；Current
    · EJC-1B6：-1 to +1 kV；6 mA
    · EJC-1B30：30 mA
    · EJC-2B3：-2 to +2 kV；3 mA
    · EJC-2B15：15 mA
    · EJC-3B2：-3 to +3 kV；2 mA
    · EJC-3B10：10 mA
    · EJC-4B1.5：-4 to +4 kV；1.5 mA
    · EJC-4B7.5：7.5 mA
    功能与特点
    · Designed specifically for Electrostatic Chuck (E-Chuck/ESC) applications
    · Fast response (100 ms) enabled by high-speed amplifier design
    · Bipolar output for efficient clamping and declamping
    · Optional integrated RF filter
    · Relay-free design ensures high reliability and long service life
    典型应用
    · 实验室供电
    资源下载
    · 本页仅列出核心参数，完整技术指标请见 EJC-specs.html
    Matsusada Precision Inc. · onetest 仪器资源库
    本文由 onetest 仪器资源库依据厂商公开资料整理，参数以厂商正式资料为准。

     

     

    Matsusada Precision Inc. · 直流电源

    EJC 静电吸盘电源 · 详细指标

    30 mA · 15 mA · 10 mA · 7.5 mA · 6 mA
    产品简介

    The EJC series is a benchtop high-voltage power supply engineered specifically for electrostatic chuck (E-Chuck/ESC) applications. Its bipolar output capability allows for smooth wafer release by reversing polarity,

    eliminating the need for mechanical relays. With a wide voltage range of ±1 kV to ±5 kV,

    完整技术指标
    · ：Model ｜Output
    · ：Voltage；Current
    · EJC-1B6：-1 to +1 kV；6 mA
    · EJC-1B30：30 mA
    · EJC-2B3：-2 to +2 kV；3 mA
    · EJC-2B15：15 mA
    · EJC-3B2：-3 to +3 kV；2 mA
    · EJC-3B10：10 mA
    · EJC-4B1.5：-4 to +4 kV；1.5 mA
    · EJC-4B7.5：7.5 mA
    · EJC-5B1.2：-5 to +5 kV；1.2 mA
    · EJC-5B6：6 mA
    ·
    – Standard [115 V input *] ｜CABLE TYPE1 ｜125 V / 10 A ｜2.5 meters Fixed length
    以上指标摘自厂商官方网站产品页/公开技术资料；厂商未标注测试条件与典型值口径的条目均按原文收录，实际以厂商正式规格书为准。
    资源下载
    Matsusada Precision Inc. · onetest 仪器资源库
    本文由 onetest 仪器资源库依据厂商公开资料整理，参数以厂商正式资料为准。

    全部

     

    松田精密官方渠道


    厂家联系方式

    公司：Matsusada Precision Inc.（松田精密株式会社）

    国际/日本：TEL +81-6-6150-5088　FAX +81-6-6150-5089

    美国（北卡罗来纳）：TEL (704) 496-2644　FAX (704) 496-2643


     

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