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NanoX-6000全自动量测设备是针对半导体关键制程尺寸量测需求开发的一款全自动关键尺寸量测设备，用于产品的CD开口、线宽、线高、线间距、Pillar直径、Overlay、EBR、大坝（dam）、膜厚及粗糙度量测等。
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全自动晶圆精密量测系统。GPP。
AT-1000 原子力自动量测系统|矽电 (在产)
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矽电|矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
AT-1000 原子力自动量测系统
晶圆量测系统 · 系统
产品简介
原子力自动量测系统。主要面向纳米级关键尺寸量测。
核心参数
• 规格型号：AT-1000
• 产品类别：晶圆量测系统
• 形态：系统
功能特性
• 基于亚微米级光学扫描检测，实现原子力自动选点量测。
• 纳米级运动平台及主动隔振系统，振动等级VC-D。
• 超高分辨力的精密显微光学系统，光学检测精度＜0.2um。
• 光学检测+原子力联动量测方案，任意区域快捷可视化量测。
• 跨区域图像高精度对齐，智能图像拼接融合，误差＜0.2像素。
• 支持无版图扫描检测，反向合成超大版图，结果实时刷新显示。
• 单片图像采集10万+，GPU并行加速计算，数据库超高速存储。
资源下载
• AT-1000 原子力自动量测系统 的全部技术指标已单独整理，见本产品详情页「详细指标」标签。
以上内容与指标均取自矽电半导体设备（深圳）股份有限公司官网（sidea.com）该产品详情页，未标注口径的为厂家公布值。
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 · onetest 仪器资源库
矽电|矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
AT-1000 原子力自动量测系统 详细指标
晶圆量测系统 · 系统
详细指标
矽电官网该产品页未提供技术参数表（页面无参数表、也无可下载的数据手册）。此处完整列出官网给出的功能与应用条目，平台不对指标作推测补全；如需完整规格，请向厂家索取正式数据手册。
功能特点
• 基于亚微米级光学扫描检测，实现原子力自动选点量测。
• 纳米级运动平台及主动隔振系统，振动等级VC-D。
• 超高分辨力的精密显微光学系统，光学检测精度＜0.2um。
• 光学检测+原子力联动量测方案，任意区域快捷可视化量测。
• 跨区域图像高精度对齐，智能图像拼接融合，误差＜0.2像素。
• 支持无版图扫描检测，反向合成超大版图，结果实时刷新显示。
• 单片图像采集10万+，GPU并行加速计算，数据库超高速存储。
应用领域
• 纳米级关键尺寸量测
资源下载
矽电官网 sidea.com 该产品详情页（采集于 2026-10-22）所给出的功能与应用条目
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电话：0755-28938875（业务专线）/ 0755-28957758
传真：0755-89724107
服务热线：400-8686-180
Email：sidea@sidea.com.cn
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