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支持亚 2nm 节点光罩的 CD-SEM，相比 E3650 测量精度提升 20% 以上，并支持曲线图案测量与基于设计的量测。
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基于FTIR技术的高精度外延工艺监控方案，SCALE EPI Series集成傅里叶变换红外光谱（FTIR）与先进算法，实现外延层厚度及元素浓度的非破坏性快速检测。系统可对多层外延进行量测，兼容对B，P，C，O等元素浓度进行量测，支持从供应链质量控制（测试晶圆）到量产工艺腔室监控（产品晶圆）的全流程
用于无损、高精度地测量薄膜材料的厚度（从亚纳米到微米级）和光学常数（折射率n和消光系数k）的先进的光学量测设备。其工作原理基于分析偏振光在样品表面反射或透射后偏振状态的变化，从而提取出样品极其精细的光学性质和结构信息。为科研与工业应用提供了强大、可靠且高效的测量解决方案。
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SCALE EPI Series 外延层厚度量测设备系列|武汉精测 (在产)
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武汉精测 武汉精测电子集团股份有限公司
SCALE EPI Series 外延层厚度量测设备系列
晶圆量测/检测系统 · 晶圆量测系统
产品简介
基于FTIR技术的高精度外延工艺监控方案，SCALE EPI Series集成傅里叶变换红外光谱（FTIR）与先进算法，实现外延层厚度及元素浓度的非破坏性快速检测。系统可对多层外延进行量测，兼容对B，P，C，O等元素浓度进行量测，支持从供应链质量控制（测试晶圆）到量产工艺腔室监控（产品晶圆）的全流程数据闭环，为碳化硅外延、硅基异质集成等前沿工艺提供实时反馈与工艺优化依据。
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• SCALE EPI Series 外延层厚度量测设备系列 的全部技术指标已单独整理，见本产品详情页「详细指标」标签。
以上内容与指标均取自武汉精测（武汉精测电子集团股份有限公司）官网该产品详情页与官方产品资料，未标注口径的为厂家公布值。
武汉精测电子集团股份有限公司 · onetest 仪器资源库
武汉精测 武汉精测电子集团股份有限公司
SCALE EPI Series 外延层厚度量测设备系列 详细指标
晶圆量测/检测系统 · 晶圆量测系统
详细指标
厂家官网该产品页以图文介绍为主，未公布可结构化的参数表；本页不做推算，各项指标请以厂家资料为准。
武汉精测官网 www.wuhanjingce.com 产品页与官方产品手册，采集于 2026-10-22
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